AMAT 0010-23716 高温探针

AMAT 0010-23716并非高温探针，而是AMAT（Applied Materials）公司生产的一款气门执行器，以下是关于该产品的详细信息：

一、产品概述

• 型号：0010-23716
• 制造商：AMAT（Applied Materials）
• 功能：作为真空阀门或气体阀门的驱动单元，在AMAT的各种真空系统设备中负责精密控制气体或真空的开关状态。

二、技术特性

1. 气体控制：
   • 控制过程气体的启闭，包括氩气、氟化物、氮气等。
   • 实现高速、精准的气体切换。
2. 兼容性：
   • 支持与质量流量控制器（MFC）或压力控制系统配合使用。
   • 适用于高真空或超高真空环境下的操作。

三、应用领域

1. 半导体制造：
   • 用于Etch系统（如CENTURA®、Producer®）。
   • 用于CVD/PVD系统、ALD、RT-CVD或PECVD设备。
2. 真空系统：
   • 腔体真空压力控制回路。
   • 后端工艺段的清洗或气体置换系统。

四、高温探针相关误解澄清

• 产品类型：AMAT 0010-23716是气门执行器，并非高温探针。
• 高温探针定义：高温探针是用于在高温环境下（如1000℃及以上）进行温度测量、材料表征或信号传递的精密仪器，通常由探管、测温元件、光缆等部分组成。
• AMAT高温探针产品：若需了解AMAT的高温探针产品，建议查阅AMAT官方产品目录或联系AMAT技术支持获取具体型号信息。